紫外線硬化樹脂のため、いろいろな方法で導波路作製が可能です。
- 直接露光法
- RIE法
- スタンパ法
特徴
- 屈折率を0.001単位で指定可能
- 優れた光透過性
- 粘度調整が可能であり、スピンコート時の膜厚制御性が良好
- 屈折率を1.43～1.62の範囲、±0.005の精度で制御可能
【適用検討例】光導波路のクラッド
平坦性・屈折率整合性に優れ、はんだ耐熱グレードもあり、層間絶縁膜にも適用可能です
直接露光法による導波路作製例
多段の導波路の作製例
（クラッド/MM導波路コアにエポキシ樹脂を使用）
（クラッド/MM導波路コアにエポキシ樹脂を使用）
平坦性に優れるため、多段の導波路作成 にも適しています
仕様
コア/クラッド材セット（*1）
| 主成分 | 屈折率＠830nm | 特徴 |
|---|---|---|
| エポキシ系 |
コア：1.53±0.005
クラッド：1.51±0.005 |
コア：粘度=2,200mPas Tg=222℃ Δn=1.3%（@830nm） クラッド：粘度=2,900mPas Tg=200℃ |
屈折率調整タイプ
| 主成分 | 屈折率調整範囲 | 特徴 |
|---|---|---|
| エポキシ系 | nD=1.43~1.62 |
粘度調整可能 （スピンコートの膜厚制御が容易） |
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