测长尺

• 最适合微细模式评价中不可缺少的扫描探针显微镜等的长度和角度的校正
• 低价格，短交货期

※对于间距在100 nm以下的超微细图案，我们也特别定制。

特征・规格

	垂直类型 (AS 100P-D)	倾斜型 (AS 200P-A)
用途	长度校准、探针形状评估	角度校正
特征	由于在Si (110) 基板上利用各向异性蚀刻，因此图案形状垂直且准确 由于直通度高，因此可以精确测量探针形状	由于在Si (100) 底板上利用了各向异性蚀刻，因此图案倾斜角度为54.7度，非常准确。 倾斜角度为54.7度，非常适合确认设备再现性
倾斜角	90度	54.74度
类型	1:1 L&S（凹出图案区域）	400 纳米 L&S 400 纳米网格 200 纳米 L&S 100 nmL&S 以上 4 种
线 (凸面) 宽度	50~250 nm	100~400 nm
模式深度	125 nm±20%	100~200 nm (工艺)
模式区域	200μm×200μm	184μm×184μm×4 (种)
基板	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt

*以低价格、短交货期提供。请随意咨询。

垂直类型 (AS 100P-D)

倾斜型 (AS 200P-A)

AFM观察图像（单位：水平方向：μm，垂直方向：nm）

定制示例

TEM观察图像