- 我们已经可以测量电子束、离子束和 X 射线的精细束尺寸。
- 纳米为单位进行测量。光束宽度可以以
- 提供一维和二维测量。
(a) 规模结构和
(b) 透射电子束强度
(b) 透射电子束强度
电子束尺寸的测量示例
参考文献:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
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