它是一种多层膜标准样品,用于深度方向分辨率评估、距离测量和灵敏度评估,如 SIMS、AES、XPS 和 XRF 分析。
我们将提供您所需材料组合、薄膜厚度和层数的标准样品。
制作实例
Si/BN多层膜试样
- 是用于SIMS分析等深度方向分析的层叠膜试料。
- 除一定周期的多层膜试料外,还支持非周期的多层膜试料。
- 还可形成超薄BN层 (~0.01 nm) 。
![TEM截面结构评估示例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.jpg)
TEM截面结构评估示例
![Si/BN多层膜结构示意图](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.gif)
Si/BN多层膜结构示意图
![SIMS深度方向分析示例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_1.jpg)
SIMS深度方向分析示例
![AFM测量表面粗糙度实例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_2.jpg)
AFM测量表面粗糙度实例
Si/Mo多层膜试料
![Si/Mo多层膜试料](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_3.jpg)
Si/Mo多层膜试料
![Si/Mo多层膜结构示意图](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHS/624d32c0205c3e139a304018.1796705601.1709533797989.jpg)
Si/Mo多层膜结构示意图
![AES测定](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHS/624d32c0205c3e139a304018.1796705602.1709533804321.jpg)
AES测定
![AES分析评估示例](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHS/624d32c0205c3e139a304018.1796705604.1709533811172.jpg)
AES分析评估示例
各种层压试样
- 适用于各种材料的层叠膜。
- 下图显示了四种不同类型材料的层压样品。
![基于TEM的截面结构评估示例和示意图](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_5.jpg)
![基于TEM的截面结构评估示例和示意图](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHS/624d32c0205c3e139a304018.1796705606.1709533817618.jpg)
基于TEM的截面结构评估示例和示意图