它是一种多层膜标准样品，用于深度方向分辨率评估、距离测量和灵敏度评估，如 SIMS、AES、XPS 和 XRF 分析。
我们将提供您所需材料组合、薄膜厚度和层数的标准样品。
制作实例
Si/BN多层膜试样
- 是用于SIMS分析等深度方向分析的层叠膜试料。
- 除一定周期的多层膜试料外，还支持非周期的多层膜试料。
- 还可形成超薄BN层 (~0.01 nm) 。
TEM截面结构评估示例
Si/BN多层膜结构示意图
SIMS深度方向分析示例
AFM测量表面粗糙度实例
Si/Mo多层膜试料
Si/Mo多层膜试料
Si/Mo多层膜结构示意图
AES测定
AES分析评估示例
各种层压试样
- 适用于各种材料的层叠膜。
- 下图显示了四种不同类型材料的层压样品。
基于TEM的截面结构评估示例和示意图
特写