Besonderheit
Mo/Si-Mehrschichtspiegel
Wir bieten EUV-Spiegel, die EUV-Licht mit einer Photonenenergie von 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm) mit hoher Effizienz reflektieren. Dieser Energiebandspiegel, auch weiches Röntgen- oder XUV-Licht genannt, wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, wie z. und Beobachtung von weichem Röntgenplasma
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Gestaltungsbeispiel
Mo/Si-Mehrschichtspiegel, Einfallswinkel 0 Grad
Ru-Einschichtspiegel, Einfallswinkel 80 Grad
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Typische Spezifikationen
Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Maximale Größe | Durchmesser 3 mm - 450 mm |
| Spiegelform | Plan, konkav, zylindrisch, parabolisch, kugelförmig, toroidal |
| mehrschichtiges Material | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B4C |
| Einlagiges Material | Ru, B4C, C, Ni, Au |
Materialien herunterladen
| Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (Englisch, Whitepaper) | 615KB | Download |
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