Espejo multicapa Ru/B4C (150 eV - 100 eV)
para 150 eV
33 % de reflectancia, ancho de banda de 3,1 eV
Reflectancia 31%, ancho de banda 1,9 eV
para 120 eV
Reflectancia 40%, ancho de banda 2,2 eV
Reflectancia 40%, ancho de banda 4,5 eV
para 100 eV
Reflectancia 41%, ancho de banda 3,3 eV
Reflectancia 41%, ancho de banda 6,6 eV
Espejo multicapa Mo/Si (95 eV - 70 eV)
para 90 eV
68 % de reflectancia, ancho de banda de 3,5 eV
67 % de reflectancia, ancho de banda de 6,1 eV
para 80 eV
Reflectancia 61%, ancho de banda 3,1 eV
60 % de reflectancia, ancho de banda de 7,7 eV
Espejo multicapa Zr/AlSi (70 eV - 50 eV)
para 70 eV
Reflectancia 59%, ancho de banda 2,8 eV
Reflectancia 59 %, ancho de banda 4,4 eV
para 60 eV
Reflectancia 49%, ancho de banda 3,3 eV
Reflectancia 49%, ancho de banda 6,3 eV
para 50 eV
Reflectancia 32%, ancho de banda 4,9 eV
Reflectancia 32%, ancho de banda 9,6 eV
Espejo multicapa SiC/Mg (45 eV - 20 eV)
para 40 eV
Reflectancia 48%, ancho de banda 2,5 eV
Reflectancia 48%, ancho de banda 3.0 eV
para 30 eV
Reflectancia 44 %, ancho de banda 3,1 eV
45 % de reflectancia, ancho de banda de 3,8 eV
para 20 eV
Reflectancia 41%, ancho de banda 3,1 eV
46% de reflectancia
Especificaciones estándar del producto
| Modelo estandar | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Material de película multicapa | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Tipo reflexivo | H: alta reflectividad, N: banda estrecha, B: banda ancha |
| (c) Ángulo de incidencia | 0 grados - 60 grados |
| (d) energía central | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b) Tamaño del sustrato | 1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor 0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor |
| (c) Tipo de sustrato | F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm) |
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