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Ejemplo de diseño de espejo de película de una sola capa EUV

Este es un ejemplo de diseño de un espejo de película de una sola capa para 10 eV - 1 keV (longitud de onda 120 nm - 1,2 nm).

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Au espejo

Gráfico AOI=75 grados.
 
Gráfico AOI=85 grados.
 

Ni espejo

Gráfico AOI=75 grados.
 
Gráfico AOI=85 grados.
 

Ru espejo

Gráfico AOI=75 grados.
 
Gráfico AOI=85 grados.
 

SiC espejo

Gráfico AOI=75 grados.
 
Gráfico AOI=85 grados.
 

B4C espejo

Gráfico AOI=75 grados.
 
Gráfico AOI=85 grados.
 

Especificaciones estándar del producto

Modelo estandar EUVSM-(a)-(b)(c)
a) Material de revestimiento Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b) Tamaño del sustrato 1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor
0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor
(c) Tipo de sustrato F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm)

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