納米壓印技術正在加速應用於各個領域。我們提供各種研究、開發、應用、產品化步驟所需的納米壓印模具。
作為半導體微細加工技術的應用,我們提供納米壓印模具已有 20 多年的歷史。在此期間,我們得到了眾多客戶的指導,在提供1000多個模具方面擁有豐富的經驗。
我們收到來自半導體、光學、IT、生物和醫療等廣泛領域的大學、研究機構、公司和客戶的訂單。
納米壓印模具的微細加工技術及制造技術
■模具材料
可指定石英、硅、SiC、Ni等與您的納米壓印相對應的材料。
■極細
從最小20 nm圖案到μm級。高縱橫比也是可能的。
■圖案
支持從單一模式重復排列到電路模式等復雜模式。
■多級差模式
我們還提供用於全息圖等的多層次臺階圖案。
■三維形狀
加工各種形狀,包括微鏡陣列 (MLA) ,防反射體 (莫氏結構) ,逆方錘圖案。
■高形狀精度
關於加工形狀,也被評價為切邊很好。通過側壁控制的錐度、反錐度形狀的微細構造也可以對應。請商量。
納米壓印用模具制作委托流程
首先請咨詢
在定制模具中,事先的會議非常重要。首先請聯係客人您的希望和印象。對於詳細的咨詢和問題,我們也會認真回答。
定制模制精細圖案加工示例
這是NTT-AT對各種形狀和尺寸的納米壓印模具進行微細加工的一個例子。請隨時就您所需的圖案、基材類型等與我們聯繫。
極細圖形 | 高寬高比模式 |
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多級模式 | V溝型、斷路型圖案 |
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八級模式 |
1μm間距V形槽 |
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錐形圖案 (Moth-eye結構) | 球面圖案 (微透鏡) |
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八級模式 |
1μm, Zag 0.3μm |
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四角錐圖形 | 深堀圖案 |
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四角錐形陣列 |
高40μm圓柱模式 |
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