高温環境下でのTEM/STEM観察

概要

今回は、100nmサイズの微粒子における温度変化の様子を、STEM加熱実験によダイレクトに可視化して調べられることを示します。
加熱による変化をその場観察することで、例えば温度変化に伴う材料の挙動（相転移・拡散等）や、高温化で材料を成長する上での知見を得ることができます。

加熱しながらSTEM観察した例

試料　：	パラジウムコートした金ロッド
実験　：	加熱ホルダー(加熱機構のついた特殊なTEMホルダー)に観察対象の微粒子をセッティングし、電子顕微鏡内(真空中)で加熱しながらSTEM暗視野（※１）および明視野観察（※2）を行い、変化の様子を観察しました。

■暗視野
Room Temp.	300℃	400℃	500℃	600℃
■明視野
Room Temp.	300℃	400℃	500℃	600℃

400℃ではあまり変化はありませんが、500℃くらいで形状が変化し、一体化（合金化）してきていることがわかります。

語句の説明

※1　暗視野	重い元素ほど明るく見えます。
※2　明視野	重い元素ほど暗く見え、且つ、ひずみ・結晶欠陥等も観察できます。