測長尺

• 最適合微細模式評價中不可缺少的掃描探針顯微鏡等的長度和角度的校正
• 低價格，短交貨期

※對於間距在100 nm以下的超微細圖案，我們也特別定制。

特征・規格

	垂直類型 (AS 100P-D)	傾斜型 (AS 200P-A)
用途	長度校準、探針形狀評估	角度校正
特征	由於在Si (110) 基板上利用各向異性蝕刻，因此圖案形狀垂直且準確 由於直通度高，因此可以精確測量探針形狀	由於在Si (100) 底板上利用了各向異性蝕刻，因此圖案傾斜角度為54.7度，非常準確。 傾斜角度為54.7度，非常適合確認設備再現性
傾斜角	90度	54.74度
類型	1:1 L&S（凹出圖案區域）	400 納米 L&S 400 納米粒度 200 納米 L&S 100 nmL&S 以上 4 種
線 (凸面) 寬度	50~250 nm	100~400 nm
模式深度	125 nm±20%	100~200 nm (工藝)
模式區域	200μm×200μm	184μm×184μm×4 (種)
基板	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt

*以低價格、短交貨期提供。請隨意咨詢。

垂直類型 (AS 100P-D)

傾斜型 (AS 200P-A)

AFM觀察圖像（單位：水平方向：μm，垂直方向：nm）

定制示例

TEM觀察圖像