它是一種多層膜標準樣品,用於深度方向分辨率評估、距離測量和靈敏度評估,例如 SIMS、AES、XPS 和 XRF 分析。
我們將提供您所需材料組合、薄膜厚度和層數的標準樣品。
制作實例
Si/BN多層膜試樣
- 是用於SIMS分析等深度方向分析的層疊膜試料。
- 除一定周期的多層膜試料外,還支持非周期的多層膜試料。
- 還可形成超薄BN層 (~0.01 nm) 。

TEM截面結構評估示例

Si/BN多層膜結構示意圖

SIMS深度方向分析示例

AFM測量表面粗糙度實例
Si/Mo多層膜試料

Si/Mo多層膜試料

Si/Mo多層膜結構示意圖

AES測定

AES分析評估示例
各種層壓試樣
- 適用於各種材料的層疊膜。
- 下圖顯示了四種不同類型材料的層壓樣品。


基於TEM的截面結構評估示例和示意圖