它是一種多層膜標準樣品,用於深度方向分辨率評估、距離測量和靈敏度評估,例如 SIMS、AES、XPS 和 XRF 分析。
我們將提供您所需材料組合、薄膜厚度和層數的標準樣品。
制作實例
Si/BN多層膜試樣
- 是用於SIMS分析等深度方向分析的層疊膜試料。
- 除一定周期的多層膜試料外,還支持非周期的多層膜試料。
- 還可形成超薄BN層 (~0.01 nm) 。
![TEM截面結構評估示例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.jpg)
TEM截面結構評估示例
![Si/BN多層膜結構示意圖](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.gif)
Si/BN多層膜結構示意圖
![SIMS深度方向分析示例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_1.jpg)
SIMS深度方向分析示例
![AFM測量表面粗糙度實例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_2.jpg)
AFM測量表面粗糙度實例
Si/Mo多層膜試料
![Si/Mo多層膜試料](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_3.jpg)
Si/Mo多層膜試料
![Si/Mo多層膜結構示意圖](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHT/624d32c0205c3e139a304018.1796705601.1709533840134.jpg)
Si/Mo多層膜結構示意圖
![AES測定](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHT/624d32c0205c3e139a304018.1796705602.1709533852696.jpg)
AES測定
![AES分析評估示例](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHT/624d32c0205c3e139a304018.1796705604.1709533857505.jpg)
AES分析評估示例
各種層壓試樣
- 適用於各種材料的層疊膜。
- 下圖顯示了四種不同類型材料的層壓樣品。
![基於TEM的截面結構評估示例和示意圖](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_5.jpg)
![基於TEM的截面結構評估示例和示意圖](https://wovn.global.ssl.fastly.net/ImageValue/production/624d32c0205c3e139a304018/zh-CHT/624d32c0205c3e139a304018.1796705606.1709533862727.jpg)
基於TEM的截面結構評估示例和示意圖