- 我們已經可以測量電子束、離子束和 X 射線的精細束尺寸。
- 納米為單位進行測量。光束寬度可以以
- 提供一維和二維測量。
(a) 規模結構和
(b) 透射電子束強度
(b) 透射電子束強度
電子束尺寸的測量示例
參考文獻:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
特寫