EUV單層膜鏡設計實例

Au鏡

Ni鏡

Ru鏡像

SiC鏡

B₄C鏡

標準規格

標準型號	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a)塗層材料	Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b)基板尺寸	1025：1 英寸直徑 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直徑 x 0.25" 厚
(c)基板類型	F:平面，C:凹面 (曲率半徑100 mm -3000 mm)

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