透過電子顕微鏡（TEM)

イオンクロマトグラフ分析（IC）/ガスクロマトグラフ質量分析（GC-MS）: クリーンルーム空気中の分子状汚染物質（AMC）の調査を行います。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：微小な結晶のひずみ（転位）、介在物、析出物、粒界などを明視野・暗視野を得る事で観察できます。