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MEMS加速度センサ

独自のメタル積層技術を用いて作製した静電容量型MEMS(Microelectromechanical Systems)加速度センサです。一般的なシリコン製MEMS加速度センサと比べて、デバイス自身のノイズ性能を大幅に小さくすることが可能です。

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