- マイクロレンズアレイの金型原版作製
- 撮像素子やディスプレイなどの高性能化
- 弊社標準仕様のカタログ品から特注品まで対応
特徴
- 石英基板、Ni電鋳などの材料にパタン形成
- 全面を球面でカバーでき、Filling factorはほぼ100%が可能
- レンズピッチは数μm~250μmの広範囲に対応
制作例(250μmφ)
光学顕微鏡像
レーザー顕微鏡測定
製作例(20μmピッチ、三角配列)
顕微鏡像
原子間力顕微鏡(AFM)像
製作例 (微小ピッチ(1μmピッチ)、正方配列)
斜めSEM像
原子間力顕微鏡(AFM)像
主な仕様
材料 | 石英、SiO2/Si、Ni |
---|---|
レンズ形成エリア | ~70 mm角 |
レンズピッチ | 1.0μm~250 μm (正方配列、三角配列、ランダム配置) |
レンズ形状 | 凹型 |
サグ | 0.1~100μm |
※詳細はご相談ください
※このページに記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。