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表面抵抗測定用プローブ

0.1ｍｍピッチ4探針プローブ

空間分解能を，従来プローブに比べ１ケタ向上させ，サブミリ領域の電気抵抗測定を可能にしました。パターニングせずに薄膜材料の抵抗測定が可能です。

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