FIB-SEMによる3D再構築 (半導体材料、電池材料の立体的な構造の把握のために) FIB-SEMによる3D再構築 多層配線の観察例をご紹介します。3D再構築から、立体的な視点からの構造把握、空孔率の測定などが可能となります。
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