分解能1nmタイプのフィードバックステージです。
6種類のテーブル面サイズから選択ができます。
本製品はシグマ光機社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。
分解能1nm NFS-UPXシリーズ ラインアップ
リンクをクリックすると、フィードバックステージNFSシリーズ 総合カタログ（PDF：6.2MB）が表示されます。
| 品番 | テーブル面サイズ | 移動量 |
|---|---|---|
| NFS60-20UPX | 75×60mm | 20nm |
| NFS60-40UPX | 110×60mm | 40nm |
| NFS100-50UPX | 100×100mm | 50nm |
| NFS100-100UPX | 175×100mm | 100nm |
| NFS120-50UPX | 120×120mm | 50nm |
| NFS120-100UPX | 175×120mm | 100nm |
仕様表
（クリックすると拡大画像が別ウインドウで表示されます。カタログPDFにも同様の表があります。）
カタログダウンロード
| フィードバックステージ NFSシリーズ カタログ | 6.2MB | ダウンロード |
|---|
閉じる