MEMS・微細加工品

末梢血流量は、循環器系の動きやメンタル状態を反映するため、血行に関する健康増進や医療サポート、エンターテインメント分野などへの応用が期待されています。 この末梢血流の変化をウェアラブル小型血流センサにてスマートフォンでリアルタイムに見ることができます。

独自のメタル積層技術を用いて作製した静電容量型MEMS（Microelectromechanical Systems）加速度センサです。一般的なシリコン製MEMS加速度センサと比べて、デバイス自身のノイズ性能を大幅に小さくすることが可能です。

ナノテク、光学、バイオ等の研究開発分野で活用されているナノメートルオーダーの微細パターンをご提供します。 最小ライン幅45nmの解像性評価用極微細モールドをお求めやすい価格の標準タイプ（型式：NIM-PHL45）として販売開始しました。

弊社メンブレンは精緻な応力制御により、機械的強度が強く、非常に平滑な自立膜を実現しております。お客様のニーズにより、材質はSiC/SiNから選択でき、且つ幅広い膜厚/サイズにも対応が可能です。 適用事例もご紹介しております。