高感度加速度センサ

NTT 研究所を通じて培った微細加工技術を応用した、MEMS 加速度センサです。 構造を工夫することで、携帯電話内蔵等の加速度センサと比べて、高感度で低いノイズ性能を実現しました。お客様のニーズに合わせた各種形態でのご提供が可能です。（モジュール、PKG 、チップ）