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深さ方向分析用標準試料 Standard sample for in-depth profiling

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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SIMS、AES、XPS、XRF分析などの深さ方向分解能評価・距離測定・感度評価に用いられる多層膜標準試料です。
ご希望の材料組み合わせ、膜厚、層数の標準試料をご提供させていただきます。

作製例

Si/BN多層膜試料

  • SIMS分析などの深さ方向分析に利用される積層膜試料です。
  • 一定周期の多層膜試料の他に、非周期的な多層膜試料にもご対応致します。
  • 極薄BN層(~0.01nm)の形成も可能です。
TEMによる断面構造評価例
TEMによる断面構造評価例
Si/BN多層膜構造模式図
Si/BN多層膜構造模式図
SIMS深さ方向分析例
SIMS深さ方向分析例
AFMによる表面粗さ測定例
AFMによる表面粗さ測定例

Si/Mo多層膜試料

Si/Mo多層膜試料
Si/Mo多層膜試料
Si/Mo多層膜構造模式図
Si/Mo多層膜構造模式図
AES測定
AES測定
AES分析評価例
AES分析評価例

各種積層試料

  • 各種材料の積層膜にご対応いたします。
  • 下図は、種類の異なる4種類の材料を積層した試料例です。
TEMによる断面構造評価例と模式図
TEMによる断面構造評価例と模式図

TEMによる断面構造評価例と模式図

 

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材料分析サービス

材料分析サービス

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