ナノインプリント用モールド カタログ製品

低価格・短納期

• ナノインプリントの研究・技術開発加速のお役に立てますよう、お求め安い価格でご提供
• 納期は、通常2週間程度を目安としてご提供

※ご発注時期等により納期は変わります。詳しくはお問合せください。

ナノインプリント用モールドカタログ製品　仕様

仕様

型番 （最小パタンサイズ）	外形寸法 材質	パターン種別、配列	パタ-ン深さ
NIM-PHL45 （45nm)	10mm角 厚み：1mm 材質：石英	・ライン（凹）、多水準パターン ・ライン幅：45、60、80、100nm　の4水準。 （各パターン領域幅　150μm) ・ディーティ比：1：1，1：5 ・領域サイズ：750μm×3mm×2水準 （ダミーパタン領域　7mm角）	100nm
NIM-PHL80 (80nm)	10mm角 厚み：0.6mm 材質：石英	・ライン（凹）、多水準パターン ・ライン幅：80nm～3μｍ　の11水準※1。 ・ディーティ比：1：1、1：2、1：3，1：10 ・領域サイズ：約9mm角	200nm
NIM-PHH100 (100nm)	10mm角 厚み：0.6mm 材質：石英	・ホール（凹）、多水準パターン ・ライン幅：80nm～3μｍ　の9水準※2。 ・ディーティ比：1：1、1：2、1：3 ・領域サイズ：約9mm角	200nm
NIM-PH350 (350nm)	10mm角 厚み：0.6mm 材質：石英	・ライン＆スペース、ホール、ドットの混載、多水準パターン ・ライン幅：350nm～10μｍ、10水準。 ・ドット直径：500nm～10μｍ、8水準。 ・ホール直径：500nm～10μｍ、8水準。 ・ディーティ比：1：1、1：2、1：5 ・領域サイズ：約9mm角	350nm

※1：NIM-PHL80　11水準　80,90,100,120,150,200,300,500,800,1000,3000nm
※2：NIM-PHH100　9水準　100,120,150,200,300,500,800,1000,3000nm

形状・パターン、モールド断面例

カタログ

ナノインプリント用モールドについてカタログダウンロードが可能です。
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石英製ナノインプリント用モールド

NIM-PHL45	152KB	ダウンロード
NIM-PHL80	165KB	ダウンロード
NIM-PHH100	168KB	ダウンロード
NIM-PH350	165KB	ダウンロード

 

カタログ製品リスト（ナノインプリント用モールド、スケール、X線光学部品、メンブレン

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