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ナノインプリント用モールド カタログ製品

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  • インプリント応用研究・開発時のお試し用
  • インプリントプロセス立ち上げ
  • 新材料開発・選定時の解像性評価
  • 転写装置・システムの性能確認・検査

低価格・短納期

  • ナノインプリントの研究・技術開発加速のお役に立てますよう、お求め安い価格でご提供
  • 納期は、通常2週間程度を目安としてご提供

※ご発注時期等により納期は変わります。詳しくはお問合せください。

ナノインプリント用モールドカタログ製品 仕様

仕様

型番
(最小パタンサイズ)
外形寸法
材質
パターン種別、配列 パタ-ン深さ
NIM-PHL45
(45nm)
10mm角
厚み:1mm
材質:石英
・ライン(凹)、多水準パターン
・ライン幅:45、60、80、100nm の4水準。
(各パターン領域幅 150μm)
・ディーティ比:1:1,1:5
・領域サイズ:750μm×3mm×2水準
(ダミーパタン領域 7mm角)
100nm
p0029_100.jpg
NIM-PHL80
(80nm)
10mm角
厚み:0.6mm
材質:石英
・ライン(凹)、多水準パターン
・ライン幅:80nm~3μm の11水準※1
・ディーティ比:1:1、1:2、1:3,1:10
・領域サイズ:約9mm角
200nm
p0029_101.jpg
NIM-PHH100
(100nm)
10mm角
厚み:0.6mm
材質:石英
・ホール(凹)、多水準パターン
・ライン幅:80nm~3μm の9水準※2
・ディーティ比:1:1、1:2、1:3
・領域サイズ:約9mm角
200nm
p0029_102.jpg
NIM-PH350
(350nm)
10mm角
厚み:0.6mm
材質:石英
・ライン&スペース、ホール、ドットの混載、多水準パターン
・ライン幅:350nm~10μm、10水準。
・ドット直径:500nm~10μm、8水準。
・ホール直径:500nm~10μm、8水準。
・ディーティ比:1:1、1:2、1:5
・領域サイズ:約9mm角
350nm
p0029_103.jpg
※1:NIM-PHL80 11水準 80,90,100,120,150,200,300,500,800,1000,3000nm
※2:NIM-PHH100 9水準 100,120,150,200,300,500,800,1000,3000nm

形状・パターン、モールド断面例

パターン概要

パターン概要

p0029_106.jpg
モールド断面例(NIM-PHL80)

カタログ

ナノインプリント用モールドについてカタログダウンロードが可能です。
詳細なパターンレイアウト図が必要な方は上部お問合せフォームよりお問合せください。

※掲載されておりますカタログの内容は、仕様変更などで予告なく変更される場合があります。

石英製ナノインプリント用モールド

NIM-PHL45 152KB
NIM-PHL80 165KB
NIM-PHH100 168KB
NIM-PH350 165KB

 

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