イオンクロマトグラフ分析 IC イオン分析 クリーンルームエアの分析 クリーンルームエアをインピンジャーに捕集し、未知イオンをイオンクロマトグラフ-質量分析計（IC-MS）で同定した測定例をご紹介します。 イオン分析 基板表面に付着したイオン成分の評価 各種基板表面上の付着イオンを、これまで以上に高感度・高精度に分析することや、鏡面、裏面における任意箇所の分析も可能になりました。 燃焼-イオンクロマトグラフィー 微量ハロゲンの分析：燃焼-イオンクロマトグラフィーを用いることで有機、無機材料中の微量ハロゲン、硫黄の測定ができます。ここでは、燃焼-イオンクロマトグラフィーの原理と適用例をご紹介致します。 分子状汚染物質調査 クリーンルームエアの分析 イオンクロマトグラフ分析（IC）/ガスクロマトグラフ質量分析（GC-MS）: クリーンルーム空気中の分子状汚染物質（AMC）の調査を行います。
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