エッチング

フッ素系、その他ハロゲン系の各ガス種によるドライエッチング、硫酸系、塩酸系、
HF系エッチャントによるウエットエッチングを承ります。

仕様

形成方式	対応可能ガス/薬液	対応可能材料
ドライエッチング	フッ素系、その他ハロゲン系	各種III-V族、Si、絶縁膜、石英等
ウエットエッチング	硫酸系、塩酸系、HF系

対応可能サイズ：Φ2"～Φ4"、不定形

特長

• エッチング後の評価も承ります。

深さ評価は「段差測定」、「断面SEM観察」、「AFM評価」
形状/エッチング面は、「断面SEM観察」、「表面SEM観察」により評価いたします。

• メタルのエッチングも承ります。

 

ドライエッチング例