X線光学部品

X線顕微鏡用高解像性チャートです。NTT-ATのX線チャートは、世界中の放射光施設などで解像度評価にお使いいただいています。EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。

SiCメンブレンとTa吸収体からなる高照射耐性X線フレネルゾーンプレートを提供します。制作例を掲載しています。

硬X線用の多層膜ミラー・単層膜ミラーを提供いたします。制作例・設計例を掲載しております。

軟X線を透過する、SiN,SiCメンブレンと極薄貴金属構造です。金属膜は観察試料からの検出X線に合わせて選択いただけます。

NTT-AT社製のX線タルボイメージング用位相格子と吸収格子は、従来のフォトレジスト格子と比較して十分に高いX線照射耐性を実現します。

X線光学研究における製造パートナーをお探しの方へ！ NTT-AT社のX線光学部品開発の例をご紹介します。