走査電子顕微鏡 SEM

大型チャンバーを備えた大型SEMにより、直径300mm（12インチ）までの大型サンプルが観察できます。EDSによる組成分析、大型ステージマイクロスコープでの予備観察も可能です。実際の12インチウェハの観察・分析例をご紹介します。

走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）：ガラス（硬質層）に液晶（軟質層）が挟まれた構造の試料について、当社で開発した特殊な切断手法により断面作成して観察した例をご紹介しております。

走査電子顕微鏡（ＳＥＭ） Co-Cr合金磁性薄膜は、結晶粒内に微細な組成分離構造を有する事が知られています。この微細偏析構造を超高分解能で観察しました。

走査電子顕微鏡（ＳＥＭ） n-InGaAsP／InP 周期構造を超高分解能SEMで観察した例です。

LEDについてクロスセッションポリッシャ（CP）で断面加工を行い、走査型電子顕微鏡による構造観察、元素分析ならびに元素分布（カラーマッピング）について測定した例です。