EUV光学部品

高品質のEUV(極端紫外線）/ X線集光ミラーをご提供しています 。多層膜ミラー・単層膜ミラーの制作例を多数ご紹介しています。

EUV, VUV, 軟X線領域向け 高精度トロイダルミラーをご提供します。制作例・設計例をご覧ください。

EUV光を可視光や近赤外光から分離するダイクロイックミラーを提供いたします。

任意の透過率・反射率を持つEUVビームスプリッタを提供いたします。EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。

VUV, EUV, 軟X線領域用のステンシル構造回折格子を提供します。標準品の他、特注品も提供可能です。

紫外光を長焦点で集光可能なレンズをご提供します。

EUV領域用・軟X線領域用の反射型偏光子を提供します。設計例などご覧ください。