透過電子顕微鏡 TEM

TEM による半導体材料の形態観察は、NTT 研究所で長年培ってきた膨大な分析件数と、そのノウハウの結晶ともいえる分析サービスです。

単結晶基板表面の研磨方法確立には研磨条件の見直しとTEM観察が有用です。成長させた酸化物単結晶から切り出した基板について研磨を行い、表面を鏡面にしました。研磨によるダメージが内部に入っていないか確認するため断面TEM観察を行った所、結晶欠陥が観察されました。

グラフェンの高分解能断面TEM観察はグラフェンの成長後の層数評価などに有効です。グラフェン(graphene)はその電子移動度の高さからタッチ・パネルや太陽電池向けの透明性導電膜といった半導体材料をはじめとしてさまざまは分野への応用が期待される物質の一つです。

酸化ガリウムの成長、高品質化、デバイス化に携わる方へ パワーデバイスの分野において、酸化ガリウム(Ga2O3)がSiCやGaNに続く次世代の半導体材料として注目されています。結晶品質の評価を行う上で、直接的に結晶構造や結晶欠陥を見ることができるS/TEM分析は、有力な分析手法の一つです。 今回は構造の異なる酸化ガリウムに対し、球面収差補正STEMにより結晶構造を確認しました分析事例をご紹介します。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：微小な結晶のひずみ（転位）、介在物、析出物、粒界などを明視野・暗視野を得る事で観察できます。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：Sl基板上のMo／Sl多層膜の断面TEM観察の例をご紹介します。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：InP基板上のInPナノワイヤ、基板から成長したCNT、C60を内包したCNTの観察例をご紹介します。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：透過電子顕微鏡では電子回折図形を得ることができ、結晶性の評価ができます。

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：ウィークビーム法とは･･･

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：Micro-Samplingを搭載したFIBシステムを用いれば、試料をチャンバに入る大きさにさえカットしておけば、後の作業は全てFIB装置内で出来ます。

分析電子顕微鏡（ＦＥ-ＴＥＭ）/透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）：CBED法とは電子線を試料上に収束させ、試料中で回折した電子線により得られる回折ディスク内部の幾何学的パターンを解析することで、結晶に関する種々の情報を得る手法です。