EUV・X線光学部品

NTT-ATでは長年にわたり、様々なEUV・X線光学部品を設計・製作・調整してきました。各種ミラーや回折光子、レンズなど、国内外の多くの大学や研究機関を中心にご利用いただいています。

以下のリンクより各ページをご確認ください。制作例・設計例・仕様など、多数ご紹介しています。

EUV / X線分光器・光検出器: VUV、EUV、軟X線領域における高効率・広帯域なフラットフィールド分光器、XAFS装置、コンパクトなX線CCDカメラなど、これまでにない分光・光検出ソリューションを提供いたします。
EUV / X線光学システム設計・製作: シュワルツシルト集光光学系やK-Bミラー集光光学系、カセグレン式望遠鏡など各種光学系の提供の他、分光・ビーム形成・ビーム分割用の光学系や光学素子、評価用素子、各種光学素子の調整機構などをご提供いたします。
EUV光学部品: EUVに関する各種光学部品をご提供いたします。
EUVミラー / 軟X線ミラー、EUVトロイダルミラー、EUVダイクロイックミラー、EUVビームスプリッタ、透過型回折格子、紫外光用集光レンズ、軟X線多層膜偏光子
X線光学部品: X線に関する各種光学部品をご提供いたします。
X線チャート、X線フレネルゾーンプレート、硬X線ミラー、X線フィルタ容器、X線回折格子、X線光学部品開発事例
関連文献: EUVミラー・X線チャートなど、EUV・X線光学部品に関する論文をまとめました。

お客様のご用途に合わせて、各種光学部品を設計・製作・調整します。