NTT-AT 先端技術商品紹介サイト Leading-Edge Key Technology Product Information
ホーム > 材料分析サービス > 物理分析 > 形態観察 > ステップのTEM観察 透過電子顕微鏡

ステップのTEM観察 透過電子顕微鏡

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム

Si表面を高真空中熱処理すると、処理条件に応じて単原子のステップやステップが集まった(バンチング)段差が生じます。ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。

写真はバンチングによって生じた階段構造を、高分解能で観察した例です。

段階構造50nm

 

段階構造2nm


 

製品一覧

閉じる

サービス一覧

材料分析サービス

材料分析サービス

閉じる

課題解決のご提案一覧

閉じる

ダウンロード一覧

閉じる