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角度分解測定によるPbIn合金酸化膜の解析 X線光電子分光法

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一次X線により励起された光電子の検出角度を変化させることで実効的な検出深さを変え、スパッタリング等を用いることなく非破壊で深さ方向分析を行なうことができます。

ここではPbIn合金を酸化すると、表面側にPb酸化物層、合金側にIn酸化物層が形成され、ニ層構造をなすことを見出しました。また、酸化時間依存性を各成分に分離して解析することができ、低温酸化理論で説明できる対数則に従うことがわかりました。

 

角度分解測定によるPbIn合金酸化膜の解析
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角度分解測定によるPbIn合金酸化膜の解析
角度分解測定によるPbIn合金酸化膜の解析

 

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